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1200℃滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品用途：產(chǎn)品專業(yè)性：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

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    • 商品名稱: 1200℃滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
    • 商品編號(hào): 1034429608717279232

    產(chǎn)品用途：產(chǎn)品專業(yè)性：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

    銷售熱線：15122725930 

     

    產(chǎn)品用途：

    產(chǎn)品專業(yè)性：

    PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

     

    產(chǎn)品組成：

    PECVD系統(tǒng)配置：

    1.1200度開(kāi)啟式雙溫區(qū)真空管式爐

    2.等離子射頻電源

    3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

    4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）  

     

    產(chǎn)品特點(diǎn)：

    生長(zhǎng)溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡(jiǎn)單。

  • 詳細(xì)技術(shù)方案請(qǐng)聯(lián)系客服人員！

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